単結晶
(Single crystal) |
単結晶とは結晶のどの位置であっても、結晶軸の方向が変わらないものをいう。単結晶の集合体が多結晶である。 |
結晶構造
(Crystal structure) |
結晶中の原子の配置構造のこと。 |
結晶成長法
(Growth Method) |
結晶成長とは、単結晶である支持結晶基板や種結晶を元にして、その結晶を増大させることである。結晶成長法とは、その方法のことを言う。 |
チョクラルスキー法
(Czochralski method) |
チョクラルスキー法(CZ法)とは半導体(シリコン、ゲルマニウム、ヒ化ガリウム)、金属(白金、金、銀)、塩類、人造宝石向けに使用される超高純度の単結晶を成長させる方法である。
種結晶をるつぼ内で溶融状態の原料物質に接触させてゆっくりと上方に回転させながら引き上げて、単結晶を作製する方法の一種。 |
格子定数
(Lattice constant) |
結晶軸の長さや軸間角度のこと。単位格子の各綾間の角度 α,β,γ と、各軸の長さ a,b,c を表す6個の定数である。格子の形状等によっては、aの値のみを表すこともある。
軸の長さの単位は普通オングストロームを用い、自明として単位を付けずに数値のみを書く場合が多い。 |
面方位
(Orientation)
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単結晶基板または、ウェハなどで,表面部分が有する結晶方位のこと。 |
結晶方位
(Crystal orientation) |
結晶方位とは、試料座標系と結晶座標系の間の相対的な関係を
表すものである。 |
密度
(Density) |
単位体積あたりの質量のこと。単位体積あたりの質量としての密度は国際単位系 (SI) では キログラム毎立方メートル(kg/m3)を単位として使用する。他にも g/cm3 = kg/L などがある。 |
原子密度
(Atomic density) |
物質1cm3=1cc中の原子の個数のこと。 |
融点
(Melt point) |
融点とは、固体が融解し液体化する温度のこと。 |
硬度
(Hardness) |
硬さとは物質、材料の特に表面または表面近傍の機械的性質の一つ。 |
熱膨張率
(Thermal expansion) |
圧力一定のもとでの物体の熱膨張の温度に対する割合。物体の単位体積当りの温度1℃上昇による膨張量を体膨張率,固体の単位長さの温度1℃上昇による延びを線膨張率という。熱膨張係数と言う場合、一般には線膨張率をさすが、誤解を避けるため、"線膨張率"を使うのが好ましい。線膨張率は従来単位もSI単位も同じ/℃であるが、数値が小さく10−5等の累乗で表示する。 |
熱伝導率
(Thermal conductivity) |
熱伝導率は、熱伝導度ともいい、熱伝導において、熱流束密度(単位時間に単位面積を通過する熱エネルギー)を温度勾配で割った物理量。その逆数を熱抵抗率(ねつていこうりつ)という。物質内に温度差があると温度の高い方から低い方へ熱が移動する.熱伝導率は,この熱の移動しやすさを表す量である.熱伝導率は厚さ1mの板の両面に1Kの温度差があるとき,その板の面積1平方メートル(1m2)の面を通して1秒(1s)の間に流れる熱量を表す。 |
抵抗率
(Resistivity) |
電気抵抗率(electrical resistivity)は、どんな材料が電気を通しにくいかを比較するために、用いられる物性値である。単に、抵抗率(resistivity)、比抵抗(specific electrical resistance)とも呼ばれる。単位は、オームメートル(Ω・m)である。 |
電子移動度
(Mobility) |
電子移動度(electron mobility)とは、固体の物質中での電子の移動のしやすさを示す量である。電界(V/cm)-電子速度(cm/s)の傾きが電子移動度である。単位はcm2/Vsである。 |
ドーピング
(Doping) |
ドープ (dope) またはドーピング (doping) とは、結晶の物性を変化させるために少量の不純物を添加すること。 |
キャリア濃度
(Carrier concentration) |
ドーパントを加えた半導体におけるキャリアの濃度である。キャリアとは電子または正孔であり、ドーピングによって伝導帯に直接導入されるもので、熱を加えても増えるものではない。ドーパント (dopant) とは、半導体にドーピングされる不純物のこと。 |
エッチピット密度
(EPD) |
エッチピット密度は、半導体ウェハの品質の評価のための基準です。エッチングの際に生じるくぼみ(エッチピット)の単位面積当たりの数。 |
バンドギャップ
(Band gap) |
バンドギャップ(Band gap、禁止帯、禁制帯)とは、 広義の意味は、結晶のバンド構造において電子が存在できない領域全般を指す。 ただし半導体、絶縁体の分野においては、バンド構造における電子に占有された最も高いエネルギーバンド(価電子帯)の頂上から、最も低い空のバンド(伝導帯)の底までの間のエネルギー準位(およびそのエネルギーの差)を指す。 |
屈折率
(Refractive index) |
屈折率とは、真空中の光速を物質中の光速(より正確には位相速度)で割った値であり、物質中での光の進み方を記述する上での指標である。 |
シンチレーション
(scintillation) |
放射線が蛍光物質に衝突したとき、短時間発光する現象。また、その光。 |