サイズ |
基板 |
基板面方位 |
AlN層厚さ |
ドープ |
2 |
サファイア |
c axis (0001) |
1000 nm |
undoped |
10×10mm |
サファイア |
c axis (0001) |
1000 nm |
undoped,Semi-insulating |
2 |
サファイア |
c axis (0001) |
1000 nm |
undoped |
2 |
サファイア |
c axis (0001) |
5000 nm (¡À 10%) |
undoped,Semi-insulating |
4 |
サファイア |
c-axis (00.1) |
1000 nm (!A 10%) |
undoped,Semi-insulating |
4 |
サファイア |
c-axis (00.1) |
5000 nm (!A 10%) |
undoped,Semi-insulating |
10×10mm |
Si |
[111] |
200 nm |
- |
2 |
Si |
[111] |
200 nm |
- |
4 |
Si |
[111] |
200 nm |
- |
|