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ヒ化インジウム単結晶(InAs) |
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ヒ化シンジウム(Indium Arsenide)、別名インジウム砒素は、インジウムと砒素の化合物。結晶構造は、立方晶系結晶の化合物半導体。灰色の金属状化合物で、組成式InAs。融点1215°C、密度 5.66 g/cm3。リン化インジウムは、波長範囲1〜3.8μmの赤外検出素子の材料として使用される。その検出素子は、光起電力のフォトダイオードである。また、リン化インジウムは、半導体レーザーの材料としても使われています。 |
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■標準特性値 |
- 結晶成長方法: LEC
- 成長方位: (111) または、(100)
-
キャリア濃度: <3E16 /cm3
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電子移動度: >20000 cm2/V.S
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エッチピット密度: <5E4 /cm2
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サイズ |
成長法 |
面方位 |
厚さ |
ドープ |
タイプ |
表面 |
2インチ |
LEC |
100 |
0.45mm |
Zn doped |
P |
片面研磨 |
2インチ |
LEC |
100 |
0.5mm |
S-doped |
N |
片面研磨 |
2インチ |
LEC |
100 |
0.45mm |
S-doped |
N |
片面研磨 |
10x10mm |
LEC |
100 |
0.5mm |
S-doped |
N |
片面研磨 |
10x10mm |
LEC |
100 |
0.5mm |
Sn doped |
N |
片面研磨 |
10x10mm |
LEC |
100 |
0.5mm |
Zn doped |
P |
片面研磨 |
2インチ |
LEC |
100 |
0.4mm |
Undoped |
N |
片面研磨 |
2インチ |
LEC |
100 |
0.45mm |
Undoped |
N |
両面研磨 |
2インチ |
LEC |
100 |
0.4mm |
Undoped |
N |
両面研磨 |
30mm |
LEC |
100 |
0.5mm |
Undoped |
N |
片面研磨 |
5x5mm |
LEC |
100 |
0.5mm |
Undoped |
N |
片面研磨 |
10x10mm |
LEC |
100 |
0.4mm |
Undoped |
N |
片面研磨 |
30mm |
LEC |
110 |
0.5mm |
Undoped |
N |
片面研磨 |
30mm |
LEC |
111 |
0.5mm |
Zn doped |
P |
両面研磨 |
10x10mm |
LEC |
111 |
0.5mm |
Undoped |
N |
片面研磨 |
ellipse shape wafer (area >30mm dia) |
LEC |
411 |
0.5mm |
S doped |
N |
片面研磨 |
ellipse shape wafer (area >30mm dia) |
LEC |
511 |
0.5mm |
S doped |
N |
片面研磨 |
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