ユニバーサルサンプルホルダーユニット
MUSHA-7070-XYZ

ユニバーサルサンプルホルダーユニット MUSHA-7070-XYZ
 
本製品は、ユニバーサルサンプルホルダーにXYZ軸手動ステージを組み合わせた位置決めユニットです。フォトルミネッセンス(PL)測定をはじめとする各種顕微光学測定において、試料の焦点位置合わせや測定位置のアライメントを高精度かつ容易に行うことができます。
サンプルホルダーには70mm角、厚さ5mmのアルミプレートを採用しており、固定用ローレットネジを緩めるだけでユニットから容易に取り外すことができます。試料は机上であらかじめホルダーへ取り付けた後、ホルダーをユニットへ装着し、ローレットネジを締めるだけで固定できるため、測定準備を短時間で行うことができます。また、複数のサンプルホルダーを用意することで、試料交換を迅速に行うことができ、測定効率を大幅に向上させます。
ユニバーサルサンプルホルダーには、M1.6タップを5mmピッチでXY方向に配置しており、板バネの取付位置を自由に変更できます。3mm角程度の微小結晶基板から各種ウェハまで幅広い試料を確実に固定でき、多様な試料の光学特性評価に対応します。
XYZ軸手動ステージにより、試料の焦点位置合わせや測定位置のアライメントを高精度に行うことができ、顕微PL測定装置をはじめとする各種顕微光学測定装置の試料位置決めユニットとして最適です。

■特長

1. XYZ軸手動ステージによる高精度な位置決め
2. 焦点位置合わせおよび測定位置のアライメントが容易
3. 70mm角、厚さ5mmの着脱式アルミ製サンプルホルダー
4. 固定用ローレットネジによる工具不要の着脱機構
5. 試料を机上で取り付け、迅速に測定装置へ装着可能
6. 複数ホルダーの交換により試料交換時間を短縮
7. M1.6タップを5mmピッチでXY方向に配置
8. 板バネの取付位置を自由に変更可能
9. 3mm角程度の微小結晶基板から各種ウェハまで対応
10. PL測定をはじめとする各種顕微光学測定に最適

■仕様

試料サイズ 3mm角~2インチウェハ
厚さ3mm以下
試料テーブルサイズ 70mm×70mm
試料固定方式 ステンレス製の板バネ
移動量 X軸:±30mm
Y軸:±30mm
Z軸:±6.5mm(光軸方向)
固定方式 ON/OFF切替式マグネットベース(標準)

※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。