テラヘルツ時間領域分光用電磁波解析ソフトウェア
THz-TDS EMWAS Ver1.0

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本ソフトウェアは、テラヘルツ時間領域分光(THz−TDS:Terahertz Time Domain Spectroscopy)法で測定した時系列電界強度の透過データを、高速フーリエ変換して周波数情報と位相情報に置き換え、これから複素誘電率を算出するために開発されました。本ソフトウェアでは、測定試料の厚さの誤差を考慮して、測定した基板厚さに対して、数μm間隔で厚さ数値を変えた計算を同時に行い、出力する厚み解析モードを有しています。測定する試料によっては、測定を複数回行い、その値を積算する必要があります。本ソフトウェアでは、最大10組のデータの解析を同時に行い、出力する機能も有しています。本ソフトウェアの数値解析法は、弊社独自の解析法を使用しています。
 

■特徴

  • 厚さ解析モードにより、測定試料の厚さの誤差の補正計算を行うことができます
  • 同時に最大10組のデータ解析を行うことができ、それらのデータを積算することが可能です。
  • 短時間解析を実現しました。(2048ポイントのTHz-TDSデータを繰り返し1回の条件で解析した場合、約10秒以内で結果を出力できます。 ※当社代表値)
 

■仕様

数値解析法 複素屈折率nと消衰係数κの初期値入力による逐次代入法
対応測定系 透過測定系
入力データ テラヘルツ時間領域分光計測による時系列電界強度テキストデータ(時間、電界強度)
グラフ表示 時系列データ(x軸:時間、y軸:振幅)、周波数スペクトル(x軸:周波数、y軸:振幅)、透過率・位相スペクトル(x軸:周波数、y軸:透過率、位相差)、誘電率スペクトル(x軸:周波数、y軸左:誘電率実部、屈折率実部、y軸右:誘電率虚部、屈折率虚部、誘電正接、吸収係数)
出力データ テキストデータ(列1:周波数、列2:測定値振幅、列3:参照値振幅、列4:透過率、列5:位相差、列6:誘電率実部、列7:屈折率実部、列8:誘電率虚部、列9:屈折率虚部、列10:誘電正接、列11:吸収係数)
動作環境 OS:Microsoft Windows 2000, XP
CPU:PentiumV 800MHz 以上
メモリ:512MB 以上
ハードディスク:10MB以上
※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。
 
◆ 本技術は、株式会社村田製作所 技術・事業開発本部 材料開発統括部 機能材料研究部 桂研究室様の成果によるものです。
◆ 解析に関しては、株式会社村田製作所 技術・事業開発本部 材料開発統括部 機能材料研究部 桂研究室様のご協力によりデータ提供をいただき、結果の整合性を確認いたしました。