ウェハ歪モニター
model:MWCM-660 |
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| 本ウェハ歪モニターは、成膜プロセス中のウェハの曲率半径を高精度かつリアルタイムに測定する装置です。 |
■特徴 |
- 成膜プロセス中のウェハ（基板）の曲率をリアルタイムで測定可能です。
- ウェハの回転角度毎のトリガ信号に同期して角度毎の曲率を測定できるので、ウェハ全体の曲率をモニタ可能です。
- レーザー光と照射位置合わせが可能であり、レーザーの照射位置確認のためのカメラモニタ機能を有しています。
- ウェハ(基板)からの反射レーザー光と光検出器の位置合わせが可能であり、位置合わせのためのカメラモニタ機能を有しています。
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■仕様 |
曲率測定 |
| 曲率測定範囲(1/R) |
-1000km-1〜 +333km-1 |
| 曲率測定分解能(1/R) |
0.1km-1 |
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レーザー |
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| ※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。 |
