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フォトルミネッセンス測定装置
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分光計測装置
半導体評価装置関連
低温測定用機器
オプティカルハードウェア
ストレスモニター
model:MSM-660
本ストレスモニターは、結晶成長中の基板にレーザ光を入射し、基板面から反射するレーザ光を基板面から定められた距離に設置した検出器により、そのビームの位置を測定し、同様のことをビームの位置を変えて行い、2つの測定データより、基板の反りの曲率半径を算出する装置です。
■仕様
測定範囲(曲率半径)
-10m〜-0.3m
0.3m〜1.5m
レーザ波長
660nm
※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。