ストレスモニター
model:MSM-660

本ストレスモニターは、結晶成長中の基板にレーザ光を入射し、基板面から反射するレーザ光を基板面から定められた距離に設置した検出器により、そのビームの位置を測定し、同様のことをビームの位置を変えて行い、２つの測定データより、基板の反りの曲率半径を算出する装置です。

■仕様

測定範囲（曲率半径）	-10ｍ～-0.3m 0.3m～1.5m
レーザ波長	660nm

※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。