マニュアルプローバー |
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| 本製品は、半導体デバイスのI-V特性（電流-電圧特性）などの電気特性を評価するためのマニュアルプローバーです。プローバーとは、ウェハーレベルで、ウェハ上に形成されたIC、LSI、トランジスタ、ダイオードなどの素子の電極にプローブ（針）を接触させ、電気的な測定・評価を行う装置です。 本装置は、顕微鏡で観察しながらウェハ上の電極に正確にプローブを当てることができ、安定した電気接触による高精度な測定が可能です。IV特性測定、抵抗測定、コンタクトチェックなど、半導体デバイスの研究・開発・品質評価に広く対応します。 構成は、マニュアル昇降式のプラテン、XYZ軸調整可能なマニピュレータ、実体顕微鏡、真空吸着式のサンプルチャックを備えたXY可動ステージなどで構成されており、さまざまな測定器（ソースメジャーユニット、マルチメータなど）と組み合わせて使用することができます。 |
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■仕様 |
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■真空吸着式のサンプルチャック |
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※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。 |
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■マニュアルプローバーとは |
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| マニュアルプローバーは、半導体デバイスや電子部品の電気的特性、例えば電流‐電圧（I-V）特性や容量‐電圧（C-V）特性などを評価するための測定装置です。プローブ針を用いて、被測定デバイス上の微細な電極に手動で正確に接触させることで、各種測定機器と接続して信号の印加および応答の取得を行います。 本装置は、主にサンプルステージ、プラテン、ポジショナ、プローブ針、およびベースプレートで構成されています。サンプルステージはウェハやチップなどの試料を固定するためのもので、その下部には手動のXY軸ステージが設けられており、測定対象となる素子の位置を微細に移動させることができます。これにより、ウェハ上の多数の素子に対して連続した測定が可能になります。 プラテンは、プローブ針を保持するポジショナを搭載する昇降可能なステージです。ポジショナは、プローブ針のXYZ軸方向の位置を微調整するための機構であり、実体顕微鏡を併用することで、針先と電極の精密なアライメントが行えます。 測定作業は、まずプラテンをボトムポジション（ホームポジション）に移動させた状態で、ポジショナを操作し、プローブ針を電極上に正確にアライメントします。その後、プローブ針を電極にコンタクトさせて測定を行います。測定終了後は、プラテンを上昇させてプローブ針を電極から離し、XYステージを操作して次の素子の電極位置に試料を移動させます。その後、再びプラテンを下降させて次の測定を実施します。この一連の動作を繰り返すことで、ウェハ上の複数のデバイスを効率よく連続的に測定することができます。 マニュアルプローバーは、構造がシンプルで操作性に優れ、比較的低コストで導入できることから、研究開発、試作評価、工程内検査、不良解析など、さまざまな現場で広く使用されています。また、構成の柔軟性が高く、用途に応じてプローブ数や機器構成を変更できるため、多様な測定ニーズに対応可能な装置です。 |
