光学特性測定用マニュアルプローバー
model:MMP-ILS01 |
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| ＬＥＤ、レーザダイオード、ＶＣＳＥＬ等の発光素子の光学特性をウェハレベルで測定するための電気的、光学的プロービング装置です。顕微鏡で観察しながら、ウェハ上の電極に対して、針を当てて、電流を流して、発光素子の光学特性測定（I-V測定 I-L測定 V-L測定 スペクトル測定）を行うために、必要な顕微鏡、プローバー、光検出器、光プローブ等で構成されています。 |
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■特徴 |
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高解像度実体顕微鏡により、プロービングが簡単。
- スペクトル測定用光ファイバプローブを発光点に近接できるため、微弱光の計測が可能。
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光学特性計測は、上部及び下部の2方向での測定ができます。
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マニュピレータは、着磁性プレート付なので、リングプレートの自由な位置に固定できます。
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発光観察高感度カメラにより発光を実時間観測可能です。
- リングプレートといっしょにプローブ針がレーバーで簡単に上下移動できます。
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■仕様 |
試料ステージ部 |
| 試料サイズ |
30ｍｍφ以下 |
| 測定面プレート材料 |
合成石英 |
| 試料台ストローク |
X軸：60ｍｍ Y軸：100ｍｍ |
| ハンドル1回転の移動量 |
Ｘ軸：粗動20mm 微動 約2.6mmＹ軸：粗動18mm 微動 約2.3mm |
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マニュピレータ部 |
| プローブ針 |
タングステンカーバイト針 |
| ストローク |
X、Y、Z軸各10mm |
| 移動量 |
X、Y、Z軸各500μm/回転 |
| キャリア |
着磁性プレート付 |
| マニュピレータ数量 |
３台 |
| リングプレート 材質 |
着磁性SUS |
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下部検出ステージ部 |
| 検出器切替ストローク |
60mm |
| 位置決め移動量 |
ＸＹ軸：13mm Ｚ軸：10mm |
| 位置決めマイクロメータ最小読取 |
10μｍ/目盛 |
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上部検出ステージ部 |
| 位置決め移動量 |
ＸＹ軸：13mm Ｚ軸：10mm |
| 位置決めマイクロメータ最小読取 |
10μｍ/目盛 |
| 数量 |
2台 |
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光強度検出器 |
| 感度波長範囲 |
190～1100nm |
| 受光面サイズ |
10×10mm |
| 受光感度 |
0.12A/W（typ @200nm） |
| 信号出力 |
100,000V/A,76,700V/A,50,000V/A,24,800V/A,10,700V/A(typ)切替 |
| 検出ヘッド数量 |
上部 1個/下部 1個 |
| 電源容量 |
AC100V 0.6A |
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スペクトル測定用ファイバプローブ |
| ファイバ種類 |
純粋石英ＳＩ |
| 波長範囲 |
200nm～900nm |
| コア径 |
600μm |
| ファイバ端末 |
上部ファイバ： 片端φ3mm×30mmスリーブ 片端ＳＭＡコネクタ下部ファイバ：両端ＳＭＡコネクタ |
| 数量 |
上部 1本/ 下部 1本 |
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顕微鏡部 |
| 観察倍率 |
7X～115X |
| ズーム比 |
16.4 |
| 観察範囲 |
φ31.4～φ1.9mm |
| 対物レンズ W.D. |
60mm |
| 対物レンズ N.A. |
0.15 |
| 接眼レンズ |
10×、視野数22 |
| 光学系 |
ガリレオ式平行 |
| 照準方式 |
ラック&ピニオン・コロガイド方式 |
| 照準部ハンドルストローク |
80mm |
| 粗動ハンドル一回転ストローク |
21mm |
| 照明 |
同軸落射ハロゲン照明 |
| 顕微鏡ユニットスライドストローク |
前後：220mm,上下：210mm,回転：360度 |
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発光観察用高感度カメラ |
| カメラ部有効画素数 |
1200万画素 |
| 撮像素子 |
1/2.33型CCD |
| 光学ズーム |
26倍 |
| 液晶モニター |
2.7型TFTカラー液晶 |
| シャッタースピード |
1/2～1/2000秒（バルブ 最長8分） |
| 静止画記録方式 |
JPEG（DCF準拠）、DPOF対応、Exif2.2、PRINT Image Matching Ⅲ |
| インターフェイス |
USB、NTSC、HDMI |
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| ※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。 |
