光学特性測定用マニュアルプローバー
model:MMP-ILS01

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マイクロプローバー
 
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 LED、レーザダイオード、VCSEL等の発光素子の光学特性をウェハレベルで測定するための電気的、光学的プロービング装置です。顕微鏡で観察しながら、ウェハ上の電極に対して、針を当てて、電流を流して、発光素子の光学特性測定(I-V測定 I-L測定 V-L測定 スペクトル測定)を行うために、必要な顕微鏡、プローバー、光検出器、光プローブ等で構成されています。
 

■特徴

  • 高解像度実体顕微鏡により、プロービングが簡単。
  • スペクトル測定用光ファイバプローブを発光点に近接できるため、微弱光の計測が可能。
  • 光学特性計測は、上部及び下部の2方向での測定ができます。
  • マニュピレータは、着磁性プレート付なので、リングプレートの自由な位置に固定できます。
  • 発光観察高感度カメラにより発光を実時間観測可能です。
  • リングプレートといっしょにプローブ針がレーバーで簡単に上下移動できます。

■仕様

試料ステージ部

試料サイズ 30mmφ以下
測定面プレート材料 合成石英
試料台ストローク X軸:60mm Y軸:100mm
ハンドル1回転の移動量 X軸:粗動20mm 微動 約2.6mmY軸:粗動18mm 微動 約2.3mm

マニュピレータ部

プローブ針 タングステンカーバイト針
ストローク X、Y、Z軸各10mm
移動量 X、Y、Z軸各500μm/回転
キャリア 着磁性プレート付
マニュピレータ数量 3台
リングプレート 材質 着磁性SUS

下部検出ステージ部

検出器切替ストローク 60mm
位置決め移動量 XY軸:13mm Z軸:10mm
位置決めマイクロメータ最小読取 10μm/目盛

上部検出ステージ部

位置決め移動量 XY軸:13mm Z軸:10mm
位置決めマイクロメータ最小読取 10μm/目盛
数量 2台

光強度検出器

感度波長範囲 190〜1100nm
受光面サイズ 10×10mm
受光感度 0.12A/W(typ @200nm)
信号出力 100,000V/A,76,700V/A,50,000V/A,24,800V/A,10,700V/A(typ)切替
検出ヘッド数量 上部 1個/下部 1個
電源容量 AC100V 0.6A

スペクトル測定用ファイバプローブ

ファイバ種類 純粋石英SI
波長範囲 200nm〜900nm
コア径 600μm
ファイバ端末 上部ファイバ: 片端φ3mm×30mmスリーブ 片端SMAコネクタ下部ファイバ:両端SMAコネクタ
数量 上部 1本/ 下部 1本

顕微鏡部

観察倍率 7X〜115X
ズーム比 16.4
観察範囲 φ31.4〜φ1.9mm
対物レンズ W.D. 60mm
対物レンズ N.A. 0.15
接眼レンズ 10×、視野数22
光学系 ガリレオ式平行
照準方式 ラック&ピニオン・コロガイド方式
照準部ハンドルストローク 80mm
粗動ハンドル一回転ストローク 21mm
照明 同軸落射ハロゲン照明
顕微鏡ユニットスライドストローク 前後:220mm,上下:210mm,回転:360度

発光観察用高感度カメラ

カメラ部有効画素数 1200万画素
撮像素子 1/2.33型CCD
光学ズーム 26倍
液晶モニター 2.7型TFTカラー液晶
シャッタースピード 1/2〜1/2000秒(バルブ 最長8分)
静止画記録方式 JPEG(DCF準拠)、DPOF対応、Exif2.2、PRINT Image Matching V
インターフェイス USB、NTSC、HDMI
※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。