ウェハレベルLEDテストシステム |
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本システムは、LEDチップをウェハ状態のまま高精度に評価できるウェハレベルLEDテストシステムです。主に電流－電圧－光出力特性（I-V-L特性）のほか、発光スペクトルなどの電気的・光学的パラメータを正確に測定することが可能です。 最大500mAの電流を、最小1μ秒の短パルスで印加可能なパルスドライバを搭載しており、LEDチップに対する熱影響を抑えた状態での特性評価を実現します。これにより、微細なパラメータ変化や発光効率の解析も高い再現性で行うことができます。 さらに、ウェハレベルでの測定が可能であるため、チップのダイシング前に特性を確認できるという大きな利点があり、開発プロセスの短縮やフィードバックの高速化に貢献します。 ※フォトダイオードの立ち上がり時間は、5μsecからとなります。 |
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■仕様 |
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■IVL特性測定データ |
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■発光スペクトル測定データ |
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■オシロスコープと電流プローブにて測定したパルス波形 |
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※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。 |
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■LEDのIVL特性について |
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| LEDのIVL特性とは、LEDデバイスの電気的および光学的性能を総合的に評価するための重要な指標であり、「I-V特性（電流－電圧特性）」、「I-L特性（電流－光出力特性）」、「V-L特性（電圧－光出力特性）」の3つの関係を指します。 I-V特性では、LEDに電圧を印加した際に流れる電流の変化を測定することで、しきい値電圧や内部抵抗など、デバイスの基本的な電気特性を確認することができます。特に、ある電圧以上で急激に電流が流れ始めるダイオード特有の非線形な応答が特徴であり、初期特性や不良判定などに用いられます。 I-L特性は、LEDに流す電流とそれに伴って発生する光出力の関係を示すもので、光出力の立ち上がり傾向やスロープ効率、発光効率を評価する際に使用されます。この特性から、最適な駆動電流の選定や、過電流時の光出力の飽和・劣化挙動を把握することが可能です。 V-L特性は、電圧と光出力の関係を示したものであり、I-VおよびI-Lの測定結果を組み合わせて算出されることが一般的です。実際の駆動環境下での電力効率（例：mW/Wやlm/W）を把握する手がかりとなり、省エネルギー設計や発熱の少ない駆動条件の検討に役立ちます。 これらのIVL特性を高精度に測定・解析することにより、LEDデバイスの性能評価や製品開発の最適化、さらには品質管理や信頼性試験において極めて重要な役割を果たします。 |
