UV-VIS 顕微イメージ分光計測装置
model：MISM-08 |
 |
 |
本装置は、真空装置内のIn-Situにおける微小エリアの２次元分光を３～５ｆｔｐの速度で測定するために開発されました。紫外から可視域において、色収差補正された顕微光学系により、２５０ｎｍ～６００ｎｍの２次元分光測定を可能にしました。真空装置内の試料の測定を目的としていますので、約２７０ｍｍ（＠約２．５倍）、約１６８ｍｍ（＠約４．８倍）の長い作動距離としました。 |
|
■２次元分光測定例 |
|
|
| 測定データ① |
測定データ② |
- 測定対象：テストターゲット
- 波長：５００ｎｍ
- 倍率：約２．５倍
- 測定エリア：約１．２ｍｍ×約１．１ｍｍ
- 測定時間： 約２８０ｍｓｅｃ
|
- 測定対象：テストターゲット
- 波長：２５３．７ｎｍ
- 倍率：約４．８倍
- 測定エリア：約０．６３ｍｍ×約０．２ｍｍ
- 測定時間： 約２００ｍｓｅｃ
|
|
■仕様 |
| 波長範囲 |
２５０ｎｍ～６００ｎｍ |
| 波長分解能 |
約０．３４ｎｍ/ｐｉｘｅｌ |
| 倍率 |
約２．５倍、約４．８倍 |
| 作動距離 |
約２７０ｍｍ（＠約２．５倍）、約１６８ｍｍ（＠約４．８倍） |
| 空間分解能 |
２０μｍ（＠約２．５倍）、１０μｍ（＠約４．８倍） |
| 測定エリア |
約１．２４ｍｍ角（＠約２．５倍）、約０．６４ｍｍ角（＠約４．８倍） |
| 測定時間 |
３～５ｆｐｓ ※フレームサイズにより測定時間は変わります。 |
|
※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。 |
| |
| |
