顕微イメージングシステム model:MISM-07
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 |
 |
試料走査タイプの透過型レーザ顕微鏡です。波長範囲は、480nm〜1064nmの顕微光学系を採用しておりますので、チタンサファイヤレーザ(800nm)の近赤外光レーザや532nm等の可視光レーザを使用できます。10nmステップの高分解能ステッピングモータを使用したワイドエリアの高速2次元走査が可能です。 |
 |
 |
CMOSカメラ画像(赤色LD使用) |
測定例 |
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 |
 |
CMOSカメラ画像(Ti Sapphire Laser使用)
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即定例
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■仕様 |
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波長範囲 |
480nm〜1064nm(光学系収差補正範囲) |
試料基板サイズ |
76mm×26mm×1mm〜1.5mm
測定エリア 10mm×10mm |
走査駆動方式 |
ステッピングモータ方式 |
試料ホルダー走査範囲 |
X軸、Y軸、Z軸 |
±10mm |
試料ホルダー走査分解能 |
X軸、Y軸、Z軸 |
10nm/パルス |
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※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。 |
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