顕微イメージングシステム
model:MISM-07

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試料走査タイプの透過型レーザ顕微鏡です。波長範囲は、480nm〜1064nmの顕微光学系を採用しておりますので、チタンサファイヤレーザ(800nm)の近赤外光レーザや532nm等の可視光レーザを使用できます。10nmステップの高分解能ステッピングモータを使用したワイドエリアの高速2次元走査が可能です。

CMOSカメラ画像(赤色LD使用) 測定例
   
CMOSカメラ画像(Ti Sapphire Laser使用) 即定例

■仕様

 
波長範囲 480nm〜1064nm(光学系収差補正範囲)
試料基板サイズ 76mm×26mm×1mm〜1.5mm 測定エリア 10mm×10mm
走査駆動方式 ステッピングモータ方式
試料ホルダー走査範囲 X軸、Y軸、Z軸 ±10mm
試料ホルダー走査分解能 X軸、Y軸、Z軸 10nm/パルス

※本仕様および外観は改善のため予告無く変更することがあります。