顕微イメージ分光計測装置
MISM-05

光学顕微鏡に取付けて顕微分光測定及びイメージ分光測定を行うことができます。

■特徴
  • 顕微領域スポット１μｍの顕微分光計測を実現
  • 顕微イメージ分光においてスペクトル分光、透過率、吸光度、反射率の測定が可能
  • 波長分解能１ｎｍのイメージ（画像）分光計測が可能

■測定原理

測定資料は、対物レンズと結晶レンズにより拡大した像を結像します。その像を光学的に約５０μｍの大きさの画像に分解し、スキャンします。その１画素の光は、分光器（回折格子）により、任意の波長のみ選択されて光検出器で測定されます。独自のコントローラーにより、光学スキャンを制御するとともに、光検出器の信号処理を行い、最終的には、解析装置により、イメージ分光像を観察します。また、イメージ分光像の任意のポイントの顕微分光測定も可能です。

Fig．１の３D像は、顕微鏡用ロンキールーリング解像力図票です。空間周波数は、６００本／ｍｍで線幅は、約０．８μｍです。このデータから本測定装置が高い画像分解能を有していると考えます。
解析装置には、顕微分光測定及びイメージ分光測定において、
１．スペクトル分光測定、
２．透過率測定、
３．吸光度測定、
４．反射率測定、の機能があります。

液晶ディスプレイのカラーフィルターの４８０ｎｍのモノクロ画像がFig．２です。
光強度をZ軸にした３D画像は、Fig.．３です。Fig．４のようにモノクロ画像において任意のポイントを選択して、その顕微ポイントのスペクトル分析（Fig．５を参照）も可能です。
　 　 　
Fig.2 　 Fig.3 　 Fig.4 　 Fig.5

■システム構成

■仕様
測定波長範囲 ３５０ｎｍ〜７００ｎｍ
測定波長分解能 １ｎｍ　※１
画像分解能 １μｍ　※２
受光面サイズ １５ｍｍ×１５ｍｍ
受光素子サイズ １０μｍ　oｒ　５０μｍ
分光器焦点距離 １００ｍｍ
光検出素子 光電子増倍管
フォントンカウントパルス分解能 １０ｎｓeｃ
ゲート時間 ５０μ〜６０ｓeｃ

※１　測定波長分解能は測定光量に依存します。
※２　画像分解能は、接続する顕微鏡の分解能に依存します。